熱門關(guān)鍵詞: 真空擴(kuò)散焊接技術(shù) 擴(kuò)散焊接 金屬蝕刻 精密金屬蝕刻
1.物理參數(shù)控制
物理參數(shù)的控制分為通用參數(shù)控制及蝕刻方式所決定的其他參數(shù)控制。通用參數(shù)控制主要是對在蝕刻過程中時間、溫度進(jìn)行控制;由蝕刻方式所決定的其他參數(shù)控制包括浸泡蝕刻的溶液攪拌程度的控制以及噴射蝕刻的噴射壓力的控制。在化學(xué)參數(shù)可控范圍內(nèi),物理參數(shù)的控制對于維持其蝕刻速度的恒定及蝕刻均勻性是非常重要的。物理參數(shù)的控制相對于化學(xué)參數(shù)的控制來說要容易得多,也直觀得多。同時,一些設(shè)備對溫度、時間及噴射壓力都有自控裝
置,只需要預(yù)先將這些參數(shù)輸人即可。
任何金屬蝕刻都一定有兩個需要控制的指標(biāo),即深度和表面平滑度。雖然物理因素和化學(xué)因素的變化都會對蝕刻深度及表面平滑度產(chǎn)生影響,但在確定的蝕刻液成分及濃度的情況下,對深度的影響主要是物理因素,在溫度、壓力恒定的前提下,確保蝕刻深度指標(biāo)的因素是蝕刻時間,在實(shí)際生產(chǎn)中也是通過時間來對蝕刻深度進(jìn)行有效控制。而對于表面平滑度,雖然溫度的變化會有一定的影響,但主要還是受蝕刻液的化學(xué)組分的影響,在化學(xué)組中添加物質(zhì)對表面平滑度的影響比蝕刻主劑的影響更大,同時調(diào)整也更困難,但可以通過實(shí)驗(yàn)確定一個單位面積消耗量的經(jīng)驗(yàn)值來控制。
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